Photo공정) Positive PR vs Negative PR의 기본적인 차이점

PR Profile

PR 종류에 따른 Photo 공정

Positive PR vs Negative PR의 가장 큰 차이점

아래와 같이 Positive PR은 빛을 받은 부분이 Develope되고,

Negative는 빛을 받지 않은 부분이 Develope 됩니다.

물론 윗 사실도 중요하지만 가장 중요한 것은

각각의 PR이 어디에 쓰이는 지라고 생각합니다.

이를 알기 위해서 PR의 Profile을 알아야 합니다.

Positive PR -> 빛을 받은 부분이 화학반응을 하여 Polymer의 결합이 약해진다

Negative PR -> 빛을 받은 부분이 화학반응을 하여 Polymer의 결합이 강해진다

참고로 Mask를 통과한 빛은 회절현상 때문에 빛이 퍼지는 것은 물론

PR 내부의 촉매제(PAC)에 의해 빛을 받은 부분 외에 주위까지 화학 반응이 퍼져 나가게 됩니다. 따라서 빛을 받게 되는 부분의 주위도 화학 반응을 받게 되어 profile이 수직으로 형성 되지 않습니다.

위쪽에서 빛을 받기 때문에

Positive PR = 빛을 받은 부분의 위쪽 주위도 화학 결합이 약해짐

Negative PR = 빛을 받은 부분의 위쪽 주위도 화학 결합이 강해짐

따라서 아래와 같이 Positive는 위쪽이 추가적으로 날아가게 되고

Negative는 위쪽이 추가적으로 안날아가는 Profile이 만들어집니다.